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半导体

晶圆检测机

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设备参数：

· 产能：≥ 8ppm ；

· 准确率：≥ 95% ；

· 稼动率：≥ 95% （仅由设备自身原因造成）；

· 漏检率：0 ；

· 误检率：≤ 5% ；


安装环境要求：

· 电源要求：380VAC，50Hz ≤40KW ；

· 压缩气源：0.4~0.7MPa  ≤1000L/H；

· 环境温度：室温+10°~+45°；

· 相对湿度：≯50%，无结露、无腐蚀性、可燃性气体。