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晶圆检测机
设备参数:
· 产能:≥ 8ppm ;
· 准确率:≥ 95% ;
· 稼动率:≥ 95% (仅由设备自身原因造成);
· 漏检率:0 ;
· 误检率:≤ 5% ;
安装环境要求:
· 电源要求:380VAC,50Hz ≤40KW ;
· 压缩气源:0.4~0.7MPa ≤1000L/H;
· 环境温度:室温+10°~+45°;
· 相对湿度:≯50%,无结露、无腐蚀性、可燃性气体。
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